教育与科研用小型箱式真空蒸发和磁控溅射镀膜机
TG-S1型小型箱式磁控溅射镀膜机 TG-EE2型小型箱式电子枪蒸发卷绕镀膜机 离子镀膜夹具之一

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        TG-S1型小型箱式磁控溅射镀膜机


本机真空室为小型前开门箱式结构,真空室尺寸:Φ250mmX250mm。真空度:2X10-4Pa。主要配置:本机配Φ60mm(RF/DC)磁控靶一套,配RF-500W溅射电源一台;配有基片盘和基片烘烤(200℃)装置;配一套微调阀充气系统、抽气系统配F—150分子泵和2X—8机械泵。

主要功能:

该机真空性能优良,可供大专院校、科研所和工厂作教育和科研等用。

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TG-S1型小型箱式磁控溅射镀膜机 TG-EE2型小型箱式电子枪蒸发卷绕镀膜机 离子镀膜夹具之一

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