TG系列箱式电子枪蒸发光学镀膜机    部分光学镀膜产品    TGL、TGW系列磁控、多弧、空心阴极复合离子镀膜机

TG-EE1型小型箱式电子枪蒸发镀膜机

本机真空室为小型前开门箱式结构，真空室尺寸：Φ250mmX250mm。真空度：8X10-4Pa。主要配置：本机配微型电子枪蒸发源一套，单坩埚单穴（也可配置单坩埚多穴），电子枪电源功率6000V，300mA；配有基片烘烤；配K—150扩散泵和2X—8机械泵。

该机可供大专院校、科研所和工厂作教育和科研等用。

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TG系列箱式电子枪蒸发光学镀膜机

*TG系列箱式电子枪蒸发真空镀膜机，主要用来镀制各种光学膜，如镀制各种光学元件、玻璃或塑料眼镜片镀增透膜、各种灯饰镀彩色膜、塑料件镀功能膜或彩色膜等。
*本系列真空镀膜机其真空室均为立式前开门箱式结构，真空室尺寸：Φ700mmX800mm、Φ800mmX900mm、Φ900mmX1000mm、Φ1000mmX1100mm、Φ1100mmX1200mm、Φ1200mmX1300mm、Φ1300mmX1400mm；真空室材料有不锈钢和碳钢两种；极限真空度为3X10-4Pa（碳钢机为：7X10-4Pa）。
*抽气系统泵的配置：（因真空室大小不同，所配泵也不同）常用高真空泵有：扩散泵TK-500、TK-600、TK-800；常用中、低真空泵有：罗茨泵ZJP-300、ZJP-600、机械泵2X-70、2X-15和滑阀泵H-150等。
*电子枪蒸发源：（因真空室大小或需要不同，所配枪也不同）本系列电子枪均为270度磁偏转结构，有X、Y偏转扫描；常用电子枪功率有：4KW、6KW、8KW、10KW等，高压为6KV、8KV、10KV。枪的坩埚常用Φ110、Φ140、Φ180、Φ220、一般为4穴，根据需要也可做成环状或香蕉状穴（尤其是大坩埚），电动转位。
*根据需要可配电阻蒸发源两组：3KW或5KW（组）。
*工件烘烤温度：室温-350℃，可控可调。
*一般配两个球面工件盘，需要时也可配行星式三圆盘或五圆盘等。
*一般配光学膜厚监控系统，需要时也可配石英晶体膜厚监控仪。
*控制：一般为手动控制，需要时也可搞半自动控制、全自动控制。
*为提高膜的牢固度，或镀不耐温的塑料件时，可采用离子辅助镀而加配离子源。
**本系列镀膜机也可设计成镀厚膜（膜厚达20μ，大功率电子器件用）的专用镀膜机。

该机可供大专院校、科研所和工厂作教育和科研等用。

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       TGL、TGW系列磁控、多弧、空心阴极复合离子镀膜机

本系列机是采用DC非平衡磁控靶溅射、多弧、作为强力离化源的空心阴极等技术组成的复合真空离子镀膜机，真空室为立式或卧式前开门箱式结构，真空室尺寸：Φ660mmX750mm。真空度：5X10-4Pa。

主要配置：左侧壁装有一个550mmX400mm非平衡磁控靶，右侧壁装有二个Φ100mm的多弧源，空心阴极系统装在顶部和底部。室内装有一套可公自转、转速可调的工件架，工件架有10根轴，均布在Φ360mm的圆周上，每轴上装2-3个Φ100mm的载盘；工件加热器装在室内后部和前部的门上，镀膜过程中工件温度可达350-500℃；配10KW的DC磁控溅射电源一台，一个10KW、1000V偏压电源，二个多弧电源；一套180A、60V等一套空心阴极电源。本机可镀TiAlN、TiN等，其中TiAlN镀层刀具更适于高速切削，尤其对不锈钢的切削加工，不但加工效率高，而且刀具寿命大大延长。抽气系统配F-250分子泵，2X-70机械泵。

本机主要用来对工具、刀具、模具、机械零件等镀复超硬镀层和装饰镀层。

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